CMM坐標(biāo)測量機(jī)系列
CMM系列大面積高精度坐標(biāo)測量機(jī)，通過手動或根據(jù)設(shè)計的測量程序自動對工件進(jìn)行坐標(biāo)及長度測量，測量精度可以達(dá)到0.1μm，測量面積可達(dá)到1500*1850
應(yīng)用領(lǐng)域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封裝、高精度PCB （HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他電子行業(yè)基板的精密測量。
2．長度及套合尺寸的精密測量，線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環(huán)寬等小尺寸的精密測量，以及平整度的測量。
3．.其余大面積工件高精度長度及二維坐標(biāo)測量場合。